Pass Box
用于物料由非潔凈區(qū)進入潔凈區(qū),或由低級別潔凈區(qū)進入高級別潔凈區(qū)時的表面凈化,可有效去除物料表面的灰塵,防止灰塵被物料攜入快裝模塊化潔凈室。氣流經(jīng)初、高效兩級過濾器過濾,傳遞窗內(nèi)潔凈度可達100級。
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